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砷化镓（GaAs）是应用广泛的化合物半导体，由于高脆性的特点，其划切加工一直是晶圆制造的难题。激光辅助水射流技术适用于硬脆材料的微细......
采用常规的碱性清洗液清洗大偏角半导体级激光器用砷化镓晶片，外延后会出现几万颗缺陷点。清洗完成后的晶片用X射线光电子能谱（XPS）分......
用透射电镜、扫描电镜对ＧａＡｓ材料加工工艺中的表面损伤层进行了观察和检测。结果切片损伤层深度≤５０μｍ、双面研磨损伤层深度≤１５μｍ、机械化......
【正】砷化镓是一种感光性能比当前广泛使用的硅更优良的材料,理论上它可将接收到的阳光的40%转化为电能,转化率约是硅的两倍,因此......
4月15日,记者来到大庆高新区新辟建的化合物半导体新材料产业园,实实在在的见识了引导基金助推产业项目建设的“庐山真面目”。产......
