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宏观颗粒是阻碍电弧离子镀广泛应用的障碍.它们镶嵌在膜层中,或散布在膜层表面.引起薄膜微区成分和结构的突变,对于工具镀来讲不一......
对小电流冷阴极真空电弧的单个阴极斑点建立了以能量平衡、离子守衡为基础的数学模型,将真空电弧的电流i、阴极压降vc这些宏观参数......
