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直流磁控溅射方法相关论文
退火时间对AZO薄膜结构及光学性质的影响
采用直流磁控溅射方法,以K9 玻璃为衬底制备掺铝氧化锌(ZnO∶Al,AZO)薄膜.在300 ℃真空条件下对样品进行退火处理,研究不同退......
会议
退火时间
AZO薄膜
微观结构
光学性质
直流磁控溅射方法
平均透过率
掺铝氧化锌
真空条件
FeCo基高频软磁薄膜的制备与特性研究
近年来,随着电子元器件向微型化、薄膜化、高频化、集成化等方向发展,这样就对作为电子器件基础的功能材料提出了更高的要求。为适......
学位
软磁薄膜
高频磁特性
磁控溅射
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