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白光干涉光谱相关论文
基于Linnik型白光显微干涉光谱测量方法
针对在复杂测量环境下实现薄膜类样品的高精度测量需求,基于白光干涉光谱测量理论,搭建了Linnik型白光显微干涉光谱测量系统,该系......
期刊
Linnik型
白光干涉光谱
薄膜
非线性相位修正
白光干涉光谱测量方法与系统的研究
微纳制造技术的发展推动着检测技术向微纳领域进军,微结构和薄膜结构作为微纳器件中的重要组成部分,在半导体、医学、航天航空、现代......
学位
微纳制造
微结构
薄膜结构
白光干涉光谱
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