电热致动器相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

电热致动器相关论文

基于MEMS工艺的电热致动器研究进展

MEMS工艺的电热致动器具有与集成电路兼容的驱动电压,大的致动位移和致动力,比静电致动器、压电致动器和磁致动器具有更大的优势,......

期刊

微机电系统电热致动器结构形式建模测量

交流电作用下电热致动器的热疲劳失效机理研究

针对电热致动器在交流电作用下承受交变温度载荷而发生热疲劳失效的现象,分析热疲劳失效机理。建立电热致动器的瞬态温度分析模型......

期刊

微机电系统电热致动器交变温度载荷热疲劳失效失效机理

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