在金属化布线电徒动试验中，采用金属薄膜电阻测温法精确测量了样品的局部温度，在环境温度为１５０℃，电流密度为３×１０＾６Ａ／ｃｍ＾２和５×１０＾６Ａ／ｃｍ６２时，金属薄膜温......