电容薄膜真空规相关论文
电容薄膜真空规中感压膜片在安装时通常须先施加预张力,再固定.为研究感压膜片预张力对电容薄膜真空规输出特性的影响,以现有电容......
电容薄膜真空规是一种真空度的传感器，在刻蚀、离子注入等半导体工艺设备中应用广泛。目前这种传感器还主要依赖于国外厂商的产品。......
电容薄膜真空规的使用情况直接关系到产品的可靠性。本文从五个方面，详细分析了电容薄膜真空规在正确使用中的注意事项，从而保证了它......
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为了解决真空腔电极引线导致的真空漏气,进一步拓展真空规的测量下限,提出了一种基于Au-Si共晶键合的绝压式MEMS电容薄膜真空规设......
提出了一种基于MEMS技术的差压式电容薄膜真空规设计方案。通过有限元分析软件建立了仿真模型,对感压薄膜尺寸和电极间距离进行了......
商用电容薄膜真空规存在体积大、重量重等问题,无法满足深空探测中真空测量需求,因此设计了一种小型电容薄膜真空规。设计中采用倒......
感压薄膜的结构改良能有效改善MEMS电容薄膜真空规的压力-电容输出特性。为解决MEMS电容薄膜真空规宽量程与高灵敏度相矛盾的问题,......
