电容拾振相关论文
对静电激励NEMS谐振器的电容拾振方法进行了研究。采用电容拾振的双端NEMS谐振器的驱动电极与检测电极间由于存在耦合电容，将会......
本文主要通过对静电激励/电容拾振的谐振梁敏感结构的分析,从理论上对静电激励和电容拾振的原理、动态和静态特性以及输入输出信号......
该文是高性能、高精度的静电激励/电容拾振的谐振压力微传感器研制的预研.在该文中完成对静电激励/电容拾振的谐振梁式敏感结构的......
随着纳机电系统(NEMS)谐振器尺寸的减小和谐振频率的提高,能否对谐振器的振动实现精确检测已经成为困扰NEMS器件继续发展的主要问......
