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电子半导体器件制造中直拉单晶硅氧浓度的控制
在电子半导体器件制造中,单晶硅的氧浓度会严重影响单晶硅产品的性能,也是单晶硅生长过程中较难控制的环节。本文介绍了直拉单晶法......
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