电场增强横向诱导结晶相关论文
分析了金属Ni、Al诱导非晶Si及非晶SiGe薄膜结晶的条件、特点和机理。简要介绍了金属诱导结晶相对于其它一些结晶工艺的优势及其在......
在外加直流电场作用下，Ni诱导非晶硅（a-Si）薄膜发生横向结晶。影响Ni诱导a-Si薄膜横向结晶的因素有很多，如场强、反应以及退火条件等。......
分析了外加直流电场对Al和Ni诱导非晶硅（a-Si）薄膜横向结晶速率的影响，指出，在热处理条件下，Al和Ni能加快诱导a-Si薄膜横向结晶的速率；适......
本文分析了Al和Ni在外加电场作用下诱导非晶硅（a-Si）薄膜横向结晶的特点和机理。对影响非晶硅结晶的诸多因素,如场强、金属种类和退......
