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生长前驱物质相关论文
用热丝CVD法生长金刚石薄膜的热力学模型
该文试图对数种气相生长金刚石薄膜的热力学模型,包括F.W.Smith的准平衡模型,Tsuda等的CH,CH表面生长模型,Frenklach和Spear模型以......
学位
金刚石
热丝化学
汽相沉积
外延生长
化学吸附
生长前驱物质
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