片子步进机相关论文
<正> 目前,在VLSI圆片加工的光刻工艺中,离开步进投影曝光机就无法对镜头进行完整的评价。由投影镜头的光学成像特性,步进机照明系......
片子步进机发展趋势本刊编辑部光刻既是晶片加工的主要成本因素(约占晶片全部加工成本的35%),又是增加电路功能特性的驱动技术,同时,也是半......
目前,器件生产厂家和光刻设备制造厂家正在准备进行0.35μm电路的生产。很明显,光学片子步进机仍然是主要的生产设备,但对i线和紫外片子步进......