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热丝辅助射频化学气相沉积相关论文
BPxN1—x薄膜的制备及磷元素对其光学能隙的影响
本文从应用出发,选择光学石英为衬底,采用热丝辅助射频化学气相沉积的方法沉积BPxN1-x薄膜,对样品进行了X射线衍射(XRD)、扫描电子......
期刊
BPxN1-x薄膜
制备
磷元素
掺杂
紫外液晶光阀
光学能隙
热丝辅助射频化学气相沉积
氮化硼
BP-xN1-x
optical bandgap
P do
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