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目前这是激光技术的一个新领域。激光烧蚀加工各种材料(金属、半导体、聚合物)的表面，用飞秒脉冲在这些表面形成微结构的质量，要比用......
为提高激光烧蚀加工的尺寸精度，将自聚焦测量法应用于激光烧蚀加工的深度测量。研究了自聚焦传感器的测量原理并导出了被测物面深度......
针对激光烧蚀加工出三维表面所存在的几个问题，即沿光轴方向的尺寸精度，必要的表面粗糙度和表面完整性，设计了一种扩束－无球差聚焦光路......
