激光共焦测量相关论文
为满足微靶装配过程中靶球和靶腔相对位置的严格的要求,保障惯性约束聚变实验的成功,针对机器视觉的几何量测量精度很难达到5μm以......
根据共焦显微术原理提出一种新型轴向扫描方式,在此基础上设计了一套可自动调节光强的焦点扫描激光共焦测量装置,经实验证实了其可......
