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溅射原子输运相关论文

靶材溅射及溅射原子输运的计算机模拟

用软件SRIM及蒙特卡罗法综合模拟了靶材溅射及溅射原子输运的过程.模拟结果包括溅射原子输运到衬底时的能量、入射角和入射位置.由......

期刊

靶材溅射溅射原子输运计算机模拟蒙特卡罗法 SRIM 溅射镀膜 computer simulation sputtering transportatio

磁控溅射镀膜相关物理过程的多尺度模拟与实验研究

磁控溅射沉积技术具有沉积温度低、成膜致密性高、薄膜结合力强等优点,并且具有独特能量分布的溅射原子在沉积过程中可对生长表面......

学位

磁控溅射溅射原子输运溅射薄膜沉积薄膜均匀性分子动力学方法蒙特卡洛方法

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