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湿法各向异性刻蚀相关论文

利用天然氧化层掩模的真空紫外硅闪耀光栅的湿法刻蚀制作

本文首先概括了闪耀光栅的历史,特点与分类;介绍了制作非对称锯齿形闪耀光栅的各种方法,突出介绍了近些年出现的新技术、新工艺和......

学位

闪耀光栅真空紫外掩模单晶硅湿法各向异性刻蚀

近红外MEMS闪耀光栅的设计与制作

利用硅的各向异性湿法腐蚀性质,在偏晶向(111)硅基底材料上,设计并制作了闪耀角为8°、周期为4μm的近红外闪耀光栅.设计时考虑了......

期刊

闪耀光栅微机电系统湿法各向异性刻蚀近红外

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