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液封提拉法相关论文
LEC法砷化镓晶体生长中熔体流动与传热传质数值模拟
砷化镓单晶是继硅单晶以后的第二代重要的半导体材料,它是半导体器件和集成电路的重要原材料。液封直拉法是生长砷化镓单晶的最重......
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液封提拉法
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磷化铟单晶生长中的传热和流动分析
用有限元法对轴向磁场存在下3英寸磷化铟单晶液封提拉法生长中的传热和流动进行了求解。结果表明:液封改变了晶体表面被封部分的换......
期刊
磷化铟
液封提拉法
磁场
传热和流动
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