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流体蒙特卡洛混合模型相关论文
二次电子发射效应对容性耦合等离子体的影响:混合模型模拟
容性耦合等离子源(Capacitively Coupled Plasmas, CCP)是半导体制造工艺中不可或缺的设备,通常CCP放电具有以下优势:放电腔室简单......
学位
容性耦合等离子体
流体蒙特卡洛混合模型
二次电子
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