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波导色散设计相关论文
氮化硅波导色散设计及低热灵敏度光交叉波分复用器的制备
硅基光子学的形成和发展,为突破硅基微电子学的摩尔极限提供了新的方向。半导体材料硅在微电子领域中的应用已经是家喻户晓,在成熟的......
学位
光交叉波分复用器
制造工艺
氮化硅
波导色散设计
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