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沟槽肖特基器件相关论文
沟槽肖特基器件Si深槽刻蚀工艺
深硅刻蚀工艺是制造沟槽肖特基器件的关键技术。Si深槽的深度影响肖特基反向击穿电压,深槽的垂直度影响多晶Si回填效果,侧壁平滑度......
期刊
沟槽肖特基器件
Si深槽刻蚀
常温刻蚀
无缝回填
SF6/O2比例
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