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氮气分量相关论文

直流溅射中氮气分量对氮化锆薄膜性质的影响

用直流溅射方法制备氮化锆薄膜,其晶体结构,氮原子组分以及电阻率都与溅射气氛中氮气分量有直接关系.用X射线衍射分析薄膜结构,随......

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氮化锆直流反应溅射氮气分量结晶取向电阻率 Zirconium nitride DC reactive sputtering .Ambient nitr

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