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氮化铝陶瓷/金属的连接相关论文
射频溅射薄膜改善氮化铝陶瓷与金属连接性研究
本文介绍了一种改善氮化铝(AlN)陶瓷与金属连接性的新工艺方法。首先采用射频溅射在AlN陶瓷表面沉积铝、钛薄膜,然后用真空钎焊和扩散......
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