氮化氧化物相关论文
采用N2O氮化氧化技术制备氮化氧化物作为绝缘层制备金属-绝缘体-SiC(MISiC)肖特基势垒二极管(SBD)气体传感器的技术,对传感器的响......
报道了采用NO直接氧化制备氮化氧化物作为绝缘层制备高性能Si基MOS肖特基二极管式气体传感器(SDS)的技术.实验结果显示,MOS肖特基......
文章报道了采用NO直接氧化制备氮化氧化物作绝缘层,制备高灵敏度MISiC肖特基二极管式高温气体传感器的技术.采用NO直接氧化法,改善......