氢隔离工艺相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

氢隔离工艺相关论文

铁电存储器关键工艺与器件建模研究

近几年来,将铁电薄膜和硅基半导体工艺相结合的新型半导体器件越来越受到世界各国研究者的广泛青睐。其中,铁电存储器由于其兼有低......

学位

铁电存储器磁控溅射 PZT薄膜准同形相界 BPO电极薄膜应力结构精修铁电电容模型氢隔离工艺

看过本文同时还关注