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镀膜过程真空室气氛分布研究
在高功率激光材料中,氧化物薄膜是非常重要的一类。采用电子束热蒸发制备氧化物薄膜时,靶材可以选用金属氧化物、纯金属或低价金属氧......
学位
HfO2薄膜
真空镀膜
气氛分布
数值模拟
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