气体总流量相关论文
实现高速沉积对于薄膜微晶硅太阳电池产业化降低成本是一个重要手段.本文采用超高频等离子体增强化学气相沉积技术,实现了微晶硅薄......
采用多弧离子镀膜技术在硬质合金基体表面沉积TiN涂层,研究了气体总流量对TiN涂层表面形貌和力学性能的影响。通过SEM观察涂层表面......
为了探讨CH4和水蒸气介质阻挡放电转化的影响因素,利用同轴式介质阻挡放电反应器,进行了CH4和水蒸气介质阻挡放电转化实验,考察了......
