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气体压力传感相关论文
基于场发射原理的碳纳米管真空系统压力传感技术研究
真空技术在前沿科技与电真空器件中占有举足轻重的地位,真空电子器件至今仍缺乏可靠的测量方法用来获取其内部真空度,而对密封器件......
学位
碳纳米管
化学气相沉积
吸附
场发射
真空测量
气体压力传感
基于多壁碳纳米管场发射与吸附原理的压力传感技术研究
设计了一种基于多壁碳纳米管(MWNT)场发射和气体吸附的压力传感器。通过热化学气相沉积法(CVD)在合金基底上直接制备具有强附着性......
期刊
多壁碳纳米管
化学气相沉积
吸附
场发射
气体压力传感
X射线管
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