次分辨率辅助图形相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

次分辨率辅助图形相关论文

亚波长光刻离轴照明和次分辨率辅助图形技术

讨论了亚波长光刻条件下的离轴照明和次分辨率辅助图形两种分辨率的增强技术，分析了两种技术的原理，利用光刻模拟软件，针对不同线宽的......

期刊

离轴照明次分辨率辅助图形分辨率增强技术光刻模拟 off-axis illumination sub-resolution assistance feat

基于光学临近修正的测试图形生成方法研究

当今半导体技术经历飞速的发展已进入到纳米级工艺时代。集成电路制造在低k1值的光刻工艺条件下,特别是对于65纳米以下的技术节点,......

学位

分辨率增强技术可制造性设计光学临近修正 OPC测试图形次分辨率辅助图形掩膜板制作规格检查

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