采用Ｓｉｌｖｏｃａ公司的ＵＴＭＯＳＴ模型参数提取程序对ＢＳＩＭ３Ｖ３模型参数进行提取，提出了ＢＳＩＭ３Ｖ３模型参数随器件尺寸变化的规律，并将此方法应用于清华大学微电子所工艺线１．０μｍ工......