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梯度煅烧对PZT铁电薄膜表面形貌的影响
研究了通过梯度煅烧制度改善薄膜开裂问题的方法和机理.实验在Al2O3基片上采用溶胶-凝胶(Sol-Gel)法制备了PZT铁电薄膜,发现薄膜的......
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