梁-膜结构相关论文
本课题采用MEMS技术在SOI片(器件层为n型<100>晶向单晶硅)上设计、制作梁-膜结构的微压传感器,该结构包括弹性元件和敏感元件。弹性......
基于压阻效应和惠斯通电桥原理,设计了一种压阻式微压传感器;为了增大灵敏度,设计了一种折弯形的压敏电阻。从微压芯片敏感薄膜的......
为了提高低量程应变式压力传感器的精度,将测力轮毂应变梁与带中央硬芯的测压膜片相结合,构成了新颖的梁膜一体的弹性元件。通过有限......