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检测栅极薄氧化层缺陷所需的失效分析技术
<正> 二氧化硅在VLSI中起着极其重要的作用.氧化层击穿是MOS VLSI的主要失效机理,并已成为电子设备中可靠性问题的重要原因。难解......
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VLSI
栅极薄氧化层
缺陷
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