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介绍了一种晶片条件下ＦＥＴ器件（包括ＭＯＳＦＥＴ，ＧａＡｓＭＥＳＦＥＴ和ＨＥＭＴ）寄生元件的剥离技术，并利用此技术获取了器件的本征［Ｙ］参数。......
