朗谬尔探针相关论文
本文讨论了探针在流动等离子体中的鞘层变化,在厚鞘层情况下,用朗谬尔探针测量了在不同偏压和主放电电流下的离子电流,并计算出不......
使用朗谬尔探针方法研究了低压CF4气体感应耦合等离子体(ICP)的放电特性.结果表明,CF4等离子体的电子呈现双温分布:一类是密度低、......
静电探针(又称朗谬尔探针)是最早被用于等离子体的诊断工具,它是在等离子体密度和温度比较低的情况下测定等离子体参数的基本方法......
通过实验对适用于90nm多晶硅栅刻蚀工艺中过刻蚀阶段等离子体的性质进行了研究分析.实验采用满足200mm硅晶片刻蚀的电感耦合多晶硅......
采用朗谬尔双探针对工作频率为1kHz、占空比为15％的直流脉冲等离子体在气体分别为空气、氨气和氩气，脉冲电压为600V，压强为109Pa条件......
电子回旋共振(ECR)等离子体以其密度高、工作气压低、均匀性好、参数易于控制等优点在超大规模集成电路工艺中获得了广泛的应用.利......
等离子体小型化后往往会产生一些独特的等离子体性质。本文采用朗谬尔探针和高分辨率发射光谱技术对不同激发频率下产生的小型感应......
随着工业和电子技术的进步,等离子体概念的范畴也在不断扩大,从早期的气体放电逐步扩展到当今社会的方方面面。在航空航天领域,随......
由于性能的优越性,电推进系统正逐步取代传统的化学推进系统,成为为航天器提供机动和控制推力的首选装置。作为电推进的一种形式,......
该文提出了一种基于FPGA的等离子体朗谬尔探针自动检测系统的总体设计方案及其硬件实现方法．该系统的外围接口电路采用微伏放大模块......
直流脉冲等离子体在表面处理如离子渗氮、薄膜沉积、材料改性等方面应用十分广泛。在表面处理过程中,等离子体参数是影响处理效果......
基于单组多匝线圈的小腔体感应耦合等离子体,研究了线圈配置与耦合效率等之间的关联,并将实验结果应用到多组并联螺旋天线感应耦合......
