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有机硅等离子体相关论文
三种有机硅氧烷的等离子体聚合与聚合物复合膜的气体透过性
在外极管式电容耦合反应器中,进行了六甲基二硅氧烷(M_2),六甲基环三硅氧烷(D_3)和八甲基环四硅氧烷(D_4)的等离子体聚合,聚合物沉......
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