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有效工作电压相关论文

用于气体流量控制的压电陶瓷阀的温度特性

采用PEV-1型压电陶瓷阀作为溅射气体Ar流量输出的驱动元件，用于真空磁控溅射镀膜中溅射气体恒压力控制。应用过程中发现压电陶瓷阀......

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压电陶瓷迟滞特性温度特性有效工作电压 piezoelectric ceramic valve hysteresis effect temperature

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