针对半导体晶圆制造系统调度的时变多目标特性,提出基于AHP和规则的多目标派工方法,在不同时期,赋予各调度目标不同的权重,通过仿......

从当前半导体晶圆制造企业实际生产调度的角度出发,根据模糊控制理论和模拟退火算法,提出了解决半导体晶圆制造系统(SWFS)时变多目......

针对半导体晶圆制造系统(Semiconductor Wafer Fabrication System, SWFS)调度中的多目标优化和目标时变性问题,提出一种时变多目......