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氢气放电无窗输出型真空紫外直接光CVD生长非晶,微晶硅薄膜
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氢气放电无窗输出型光CVD非晶,微晶硅薄膜
采用氢气作为无窗输出型真空紫外辐射源的工作气体,产生的高能光子(如真空紫外光)可以直接分解SiH<sub>4</sub>或SiH<sub>4</sub>+BF......
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