无掩模数字光刻相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

无掩模数字光刻相关论文

基于无掩模数字光刻的SU-8模具与微流控芯片的制作研究

微纳加工领域对高纵宽比的微结构需求日益增加。SU-8光刻胶由于其良好的化学、机械、物理等方面的优越性能成为制作高纵宽比微结构......

学位

无掩模数字光刻重复曝光 SU-8模具特征尺寸微流控芯片

基于数字微镜芯片的无模光刻微加工技术研究

微加工技术是当今一种最基本的现代科学技术。它源自半导体加工工艺,多用于硅基材料,且多为二维平面结构,基于传统光刻技术。而微......

学位

数字微镜光束整形无掩模数字光刻 DMD衍射模型微流体

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