旋转甩干相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

旋转甩干相关论文

硅片湿法清洗工艺技术及设备发展趋势

简要介绍了硅片湿化学清洗工艺技术及清洗设备结构技术,包括一些典型的槽体结构、干燥工艺技术等。并就清洗技术的发展需要,阐述未......

期刊

硅片污染物标准工业湿法清洗槽式清洗旋转甩干单片旋转清洗

浅析晶圆湿法清洗方式中常见的电气控制

晶圆湿法清洗设备是半导体行业中最普遍和必须的设备,其电气控制由于环境的因素有其特殊性和专业性,清洗设备中的电气控制需要配合......

期刊

计量泵流量计 QDR 旋转甩干

看过本文同时还关注