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斜率传感器相关论文
大型硅晶片平面度精密纳米计量技术
描述了一种基于斜率传感器的大型硅晶片平面度扫描测量系统.采用二维斜率传感器对晶片表面扫描,以获得表面绕X和Y轴的倾斜度.斜率......
期刊
扫描测量系统
计量技术
倾斜度
斜率传感器
自准直原理
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硅晶片平面度
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