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针对传统微透镜阵列制作工艺复杂、成本高、周期长等缺点,研究了一种低成本、高效率制作微透镜阵列的技术方法。以SU-8负性光刻胶......
以SU-8作为结构材料,采用紫外光刻工艺,尤其以斜曝光工艺为主,加工出主光轴平行于衬底基片的微透镜阵列,单个微透镜的直径大约为50......
以SU—8作为结构材料,采用紫外光刻工艺,尤以斜曝光工艺为主,制造一种新型的、小型化的、低成本的、三维的、高深宽比的微流沟道,......
在"T"型混合器的基础上,通过在混合室入口处设计一对交错的空间喷嘴阵列,使来自相反方向的混合流体混合面积增加,扩散效果增强,利......
透镜是构成光路系统中基本而又重要的光学元件，它属于被动光学元件，用来汇聚、发散、准直光辐射。透镜阵列是由相同的透镜按一定的顺......
微流控芯片作为微全分析系统（μTAS）的一个重要研究分支，凭借其高度集成化、便携化、低成本等优点，融合了众多学科的研究成果，受到了广......
随着近二十年来微电子机械系统(MEMS)技术研究的不断发展,逐渐产生了一个新的分支领域Bio-MEMS。随着人类对自身的生命健康越来越......
