敏感微梁相关论文
MEMS压阻式加速度计是许多惯性测量应用中的核心器件,长期处于MEMS领域的研究热点位置,然而,现阶段还普遍存在着灵敏度与固有频率......
为满足建筑物振动监测等应用对小加速度信号测量的需求,采用带有微梁和支撑梁的敏感结构设计了一种压阻式小量程加速度传感器芯片,......
