敏感微梁相关论文
MEMS压阻式加速度计是许多惯性测量应用中的核心器件,长期处于MEMS领域的研究热点位置,然而,现阶段还普遍存在着灵敏度与固有频率......
在悬臂梁-质量块MEMS加速度敏感结构的基础上,为提高其固有频率,拓展其应用领域,提出了一种带有直拉直压微梁的新型压阻式加速度敏......
为满足建筑物振动监测等应用对小加速度信号测量的需求,采用带有微梁和支撑梁的敏感结构设计了一种压阻式小量程加速度传感器芯片,......
