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微纳米三坐标测量机性能改进及系统测试
为了达到实验室研制的微纳米三坐标测量机(Micro/Nano-CMM)能够实现对微结构三维特征尺寸的高精度测量的目的,本文主要做了如下几......
学位
微纳米三坐标测量机
接触扫描式探头
误差分离
系统测试
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