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氮化镓基增强型HEMT器件与集成电路研究
本文重点研究了蓝宝石衬底上的铝镓氮/氮化镓(AlGaN/GaN)增强型高电子迁移率晶体管(HEMT)和集成电路。 首先,开展了不同F等离......
学位
F等离子体处理
高电子迁移率晶体管
薄势垒
数字电路
抗辐照活性
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