微结构自由曲面相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

微结构自由曲面相关论文

微结构自由曲面的超精密单点金刚石切削技术概述

回顾了超精密加工技术的发展,主要包括超精密加工设备的开发历程,以及超精密单点金刚石切削技术基础,并对微工程技术作一简要介绍;......

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微结构自由曲面超精密加工精密测量切削机理机床设备

自抗扰控制在快刀伺服系统控制中的应用

为了提高微结构自由曲面光学元件超精密加工中快刀伺服系统的跟踪精度和抗干扰性，引入自抗扰控制器。通过对快刀伺服刀架进行建模分......

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微结构自由曲面超精密加工自抗扰控制快刀伺服系统

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