微结构气敏传感器相关论文
在微电子、微机械技术中,常采用气体夹层结构减少热损失,提高器件灵敏度.然而夹层热辐射的微尺度效应反而可能引起器件功耗的增加.......
微结构气敏传感器是用微电子、微机械加工、薄膜等技术制备的新一代气体敏感元件,由于它的微型化、低功耗、易批量生产、易阵列化、......
该文主要从三方面介绍微结构气敏传感器的制造工艺,着重介绍等离子刻蚀、硅的各向异性腐蚀及其三项关键工艺的作用。......
该文主要研究Si基膜片型微结构气敏传感器单元的优化、SnO及SnO基敏感薄膜电学与气敏特性以及敏感薄膜制备过程中的工艺兼容性问题......
本文利用溶胶-凝胶法制备出结构性能良好的ZnO基薄膜,对薄膜的透明导电性、紫外光电响应特性、紫外光照下气敏性能进行了研究,对相......
微结构气敏传感器是利用微电子、微机械和薄膜等技术制作的新一代气敏元件。本文报道有限元方法在膜片型微结构气敏传感器设计中的......
微结构气敏传感器由于其微型化、低功耗、易阵列化、易智能化、易批量生产等独特优点 ,受到国内外研究者的广泛重视 .本文分析膜片......
硅和硅基微机电系统技术是微机电系统技术的主流,本文主要介绍用这种技术制造的各种微结构气敏传感器。......
微结构气敏传感器与电子鼻是近年来国际上传感技术领域的研究热点。微结构气敏传感器是利用微电子、微机械加工和簿膜技术将加热测......