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微细游离磨粒相关论文
微细游离磨粒借助流体动压力实现的超精密加工技术
精密加工是先进制造方法的重要组成部分,利用微细游离磨粒进行陶瓷、玻璃、半导体等光学零件的超精密加工,不仅可获得高的表面质量......
期刊
微细游离磨粒
流体动压力
超精密加工
Fine loose abrasive Fluid hydrodynamic pressure Super- precis
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