微波微等离子体阻抗相关论文
本课题由国家自然科学基金项目“小功率微波微等离子体的研究”（批准号：61072007）资助。近年来,研制可集成于微机电系统（Micro-Electro......
本课题由国家自然科学基金项目“小功率微波微等离子体的研究”(批准号：61072007)资助。近些年来随着高新技术产业发展步伐的加快,......
